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    當前位置:首頁  /  產品中心  /  旋轉和傾斜平臺  /  直接驅動電動轉臺  /  RGA 系列薄型高速高重復性直驅旋轉平臺

    RGA 系列薄型高速高重復性直驅旋轉平臺

    簡要描述:RGA 薄型高速旋轉臺非常適合需要低質量和大孔徑的工業應用,但需要快速和精確地旋轉晶圓卡盤等樣品架。

    快速旋轉、薄型、大光圈
    高重復性
    低擺動和低偏心率
    高扭矩和高加速度
    全鋼結構,具有高剛度和熱穩定性
    即插即用 ESP 兼容性

    基礎信息

    產品型號

    廠商性質

    經銷商

    更新時間

    2026-01-05

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    1464
    詳細介紹
    品牌Newport/美國價格區間面議
    產地類別進口產品種類電動
    應用領域綜合

    產品型號

    型號規格
    RGA150電動旋轉位移臺,高速,薄款設計
    RGA150MAP電動旋轉位移臺,高速,薄款設計

    產品規格

    型號RGA150RGA150MAP
    角度范圍360 °360 °
    最大速度1800 °/s1800 °/s
    最小位移增量0.01 mdeg0.01 mdeg
    峰值驅動扭矩11 Nm11 Nm
    中心負載能力50 N50 N
    雙向重復精度,典型值±0.0975 mdeg±0.0975 mdeg
    精度,典型值±4 mdeg
    精度,保證值±8 mdeg±1 mdeg
    擺動,典型值±12 µrad±12 µrad
    擺動,保證值±26 µrad±26 µrad
    偏心率,典型值±0.5 µm±0.5 µm
    偏心率,保證值±1 µm±1 µm
    孔徑90 mm90 mm
    MTBF20,000 hours @ 30% duty cycle20,000 hours @ 30 % duty cycle
    電纜長度5 m5 m
    重量4.5 kg4.5 kg


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